Conveyor&OHCV
主要使用在半導(dǎo)體工廠載具輸送,應(yīng)對(duì)OHT,AGV,OP對(duì)接需求。
Foup:半導(dǎo)體制程中被使用來保護(hù)、運(yùn)送、并儲(chǔ)存晶圓的一種容器。
直線CV
旋轉(zhuǎn)CV
OHT load port 對(duì)接CV
OP 對(duì)接CV