蘇州盟螢電子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
全充氮氣 Stocker
主要使用在半導體封測工廠，對FOUP存儲環(huán)境濕度有要求。
Foup：半導體制程中被使用來保護、運送、并儲存晶圓的一種容器。
引線框盒：半導體封測工藝銅載板存儲盒。
關(guān)鍵技術(shù)
- 可自由設(shè)置濕度區(qū)間
- 實現(xiàn)自動充放氮氣
- 配備嵌入式AB門，保壓效果持久
- 先進的運動控制系統(tǒng)，走行軸及升降軸全閉環(huán)控制，實現(xiàn)FOUP精準定位
- 潔凈等級Class100-1000
全充氮氣 Stocker Crane
產(chǎn)品特點及參數(shù)
供電方式：滑觸線、非接觸供電（可選擇）
最大負載：20kg
驅(qū)動方式：伺服電機
行走運動：齒輪齒條+直線導軌
行走速度（max）：1.6m/s
行走加速度（max）：0.8m/s2
提升運動：同步帶+直線導軌
提升速度（max）：0.98m/s
提升加速度（max）：0.8m/s2
回轉(zhuǎn)運動：DD馬達
回轉(zhuǎn)速度（max）：180°/s
回轉(zhuǎn)加速度（max）：0.18m/s2
FORK伸縮運動：絲桿+皮帶
FORK伸縮速度（max）：0.4m/s
FORK伸縮加速度（max）：0.2m/s2
通訊方式：光通訊
貨叉重復精度：±0.5mm
