蘇州盟螢電子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
MASK ROOM Stocker
主要使用在半導(dǎo)體，面板行業(yè)MASK （掩膜版）自動(dòng)化搬運(yùn)、存儲(chǔ)、清洗、AOI檢測(cè)實(shí)現(xiàn)MASK在曝光核心工藝之間流轉(zhuǎn)。
Mask:半導(dǎo)體的曝光機(jī)制程中用的掩膜版，其不使用時(shí)裝在特制的盒子內(nèi)保管。
關(guān)鍵技術(shù)
- 全自動(dòng)Mask(掩膜版）取放及搬運(yùn)，實(shí)現(xiàn)Mask密集化存儲(chǔ)
- RGV采用直角平移式換軌，節(jié)省空間
- 對(duì)接Mask存儲(chǔ)庫(kù),實(shí)現(xiàn)AOI, 清洗，包裝多工藝多流程全自動(dòng)化作業(yè)
- 潔凈等級(jí) Class10@0.1μm
MASK ROOM
產(chǎn)品特點(diǎn)及參數(shù)
- 供電方式：滑觸線、非接觸供電（可選擇）
- 最大負(fù)載：5kg
- 驅(qū)動(dòng)方式：伺服電機(jī)
- 行走運(yùn)動(dòng)：齒輪齒條+直線導(dǎo)軌
- 行走速度（max）：1m/s
- 行走加速度（max）：0.8m/s2
- 回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)：3樞軸+諧波驅(qū)動(dòng)
- 通訊方式：漏波電纜
- 回轉(zhuǎn)速度（max）：45°/s
- 回轉(zhuǎn)加速度（max）：0.18m/s2
- FORK伸縮運(yùn)動(dòng)：3樞軸+諧波驅(qū)動(dòng)
- FORK伸縮速度（max）：0.2m/s
- FORK伸縮加速度（max）：0.18m/s2
- 貨叉重復(fù)精度：±0.5mm
